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日常生活中,不少人会通过贴膜来保护手机,这是一项技术活,稍有不慎就会在屏幕上产生难看的气泡。其实,芯片生产也有贴膜的环节,给晶圆贴光刻膜,难度更大。广东东莞一家专精特新企业通过自主研发晶圆真空贴膜设备,成了芯片制造领域的“贴膜大师”。
总台央视记者 满禹廷:技术人员表示,他们的设备主要用于给晶圆贴光刻膜,而光刻膜对自然光特别敏感,所以需要在黄光下进行作业。
在芯片的生产过程中,有一项工艺是将光刻膜贴在晶圆上,然后通过激光照射让光刻膜产生物理及化学特性的变化,进而在表面上得到所需的图像,再通过后续工艺形成芯片电路。如果光刻膜和晶圆之间出现褶皱或者气泡,整张光刻膜就会报废。
广东思沃先进装备有限公司副总经理 肖基堂:真空腔体是这台设备的核心部件,它可以在30秒内使线帕以内,把腔体内的空气赶出来,避免气泡的产生。
广东思沃先进装备有限公司副总经理 肖基堂:我们采用高清图像识别技术实现1微米至2微米的线路制作。晶圆越做越薄,相对比较脆弱,在生产过程中我们要注意压力的精准控制以防止裂片的产生。
本期专精特新·绝活:贴膜贴出新高度,自研设备制造真空环境,让气泡和褶皱不再成为晶圆贴膜的行业痛点,做芯片制造领域的“贴膜大师”。
日常生活中,不少人会通过贴膜来保护手机,这是一项技术活,稍有不慎就会在屏幕上产生难看的气泡。技术人员表示,他们的设备主要用于给晶圆贴光刻膜,而光刻膜对自然光特别敏感,所以需要在黄光下进行作业。
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